Прикладна фотометрична еліпсометрія

Володимир Одарич

Прикладна фотометрична еліпсометрія

Володимир Одарич
Формат
Мова книги
Видавництво
Рік видання

У книзі розглянуто основні питання відбивальної еліпсометрії, зокрема зв'язок характеристик відбивальної системи із поляризаційними параметрами відбитої від системи - одношарової, двошарової та анізотропних середовищ. Розглянуто основи методу фотометричної еліпсометрії, алгоритм розрахунку параметрів системи за виміряними значеннями еліпсометричних даних, а також викладено основи еліпсометричних методів контролю оптичних деталей, підданих різним способам обробки поверхні. Наведено результати еліпсометричних досліджень діелектричних покриттів, йонно імплантованих напівпровідників, процесів взаємодії атмосферного повітря із поверхнею тощо. Призначено для наукових працівників тв інженерів, які використовують еліпсометричні прилади у своїх дослідженнях, викладачів і студентів вищих навчальних закладів.

Продавець товару
Код товару
857661
Доставка, оплата и гарантия
356-logo
Активувати Доставку 365
Безкоштовна доставка на рік за 365₴
Київ Нижче наведені умови доставки
Опис книги

У книзі розглянуто основні питання відбивальної еліпсометрії, зокрема зв'язок характеристик відбивальної системи із поляризаційними параметрами відбитої від системи - одношарової, двошарової та анізотропних середовищ. Розглянуто основи методу фотометричної еліпсометрії, алгоритм розрахунку параметрів системи за виміряними значеннями еліпсометричних даних, а також викладено основи еліпсометричних методів контролю оптичних деталей, підданих різним способам обробки поверхні. Наведено результати еліпсометричних досліджень діелектричних покриттів, йонно імплантованих напівпровідників, процесів взаємодії атмосферного повітря із поверхнею тощо. Призначено для наукових працівників тв інженерів, які використовують еліпсометричні прилади у своїх дослідженнях, викладачів і студентів вищих навчальних закладів.

Рецензії
Виникли запитання? 0-800-335-425
251 грн
В наявності
Паперова книга
Доставка, оплата и гарантия
356-logo
Активувати Доставку 365
Безкоштовна доставка на рік за 365₴
Київ Нижче наведені умови доставки