Ultrasmall Radio Frequency and Micro-wave Microelectromechanical systems (RF MEMs), such as switches, varactors, and phase shifters, exhibit nearly zero power consumption or loss. For this reason, they are being developed intensively by corporations worldwide for use in telecommunications equipment. This book acquaints readers with the basics of RF MEMs and describes how to design practical circuits and devices with them. The author, an acknowledged expert in the field, presents a range of real-world applications and shares many valuable tricks of the trade.Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) befinden sich derzeit in der Entwicklung, inbesondere im Hinblick auf einen Einsatz in der Telekommunikation. Potentiell können solche Systeme mit wenig oder keiner Leistung betrieben werden. Die Grundlagen von Hochfrequenz-MEMS werden in diesem Buch erläutert, wobei auch auf praktische Aspekte des Schaltkreisentwurfs eingegangen wird. Auch Switches, Phasenschieber, Varaktoren und Oszillatoren werden beschrieben. Herstellungs- und Verpackungstechniken werden gleichermaßen erläutert.